成膜加工

成膜加工とは

成膜加工とは、ガラスの基板上に原子や分子を堆積させて、連続した薄い膜を形成する技術です。
この膜により、基板の表面に電気的・光学的・化学的な特性が加わり、電子機器や半導体、光学素子、センサーなど幅広い分野で活用されます。
膜は電気を通す・通さない、汚れや水を防ぐ、映り込みを抑えるなどの機能を持たせることができます。

インラインスパッタ

用途

対応加工範囲

サイズ	MAX：780mmｘ470mm MIN：20mmｘ20mm
抵抗値	5～300Ω/▢㎠まで対応
膜	ITO・Cr・AL・Ag・Ti等

インターバックスパッタ

用途

対応加工範囲

サイズ	MAX : 800mmｘ1380mm MIN ： 20mmｘ20mm
膜種	Cr 他

バッチスパッタ

用途

対応加工範囲

サイズ	MAX : 300mmｘ850mm MIN ： 20mmｘ20mm
膜種	Cr、ITO膜、AL、Cu 等

真空蒸着

用途

対応加工範囲

加工方法	蒸着装置による光学薄膜
ドーム	φ1600（直径）
サイズ	MAX : 370mmｘ470mm MIN ： 20mmｘ20mm
対応膜種	反射防止膜、多層膜、防汚膜、UV-IRカットフィルター他

Q＆A

 成膜できる材料は何ですか？

ポリエチレンテレフタレート (PET)、アクリル、ポリカーボネート、ポリイミド、フッ素樹脂、PEEK樹脂などが挙げられます。これらの樹脂は、薄膜を形成する基板としても、非粘着性や耐摩耗性を付与する材料としても使用されます。

アクリルに成膜できますか？

アクリルに成膜する場合、そのままでは密着性が悪く剥がれやすいため、下処理や適切な成膜方法を選択する必要があります。

製品・加工事例

反射膜（成膜加工）

カラーフィルター用反射膜（携帯電話半透明型用）・自動車用バックミラー（多機能ミラー）・ハーフミラー・反射防止膜など、用途に応じた金属膜・多層膜を、当社では設計から成膜まで徹底した品質管理を行い、より高品質かつ高信頼の製品を提供させて頂いております。

ITO膜（成膜加工）

透明導電膜はニーズに合わせて高抵抗～低抵抗・高密着・高強度膜を、蒸着法・スパッタリング法で対応させていただいております。
また、クリーンルーム内での成膜により安定した品質と高い信頼性を実現しております。